等離子體發射光譜儀首先是一種發射光譜分析方法，可以多元素同時測定。
 

　　發射光譜分析方法只要將待測原子處于激發狀態，便可同時發射出各自特征譜線同時進行測定。等離子體發射光譜儀，不論是多道直讀還是單道掃描儀器，均可以在同一試樣溶液中同時測定大量元素(30~50個，甚至更多)
 

　　已有文獻報導的分析元素可達78個，即除He、Ne、Ar、Kr、Xe惰性氣體外，自然界存在的所有元素，都已有用ICP-AES法測定的報告。
 

　　當然實際應用上，并非所有元素都能方便地使用ICP-AES法進行測定，仍有些元素用ICP-AES法測定，不如采用其它分析方法更為有效。盡管如此，ICP-AES法仍是元素分析最為有效的方法。
 

　　⑵ ICP光源是一種光薄的光源，自吸現象小，所以ICP-AES法校正曲線的線性范圍可達5~6個數量級,有的儀器甚至可以達到7~8個數量級，即可以同時測定0.00n%~n0%的含量。在大多數情況下，元素濃度與測量信號呈簡單的線性。
 

　　既可測低濃度成分(低于mg/L)，又可同時測高濃度成分(幾百或數千mg/L)。是充分發揮ICP-AES多元素同時測定能力的一個非常有價值的分析特性。
 

　　⑶ ICP-AES法具有較高的蒸發、原子化和激發能力，且系無電極放電，無電極沾污。由于等離子體光源的異常高溫(炎炬高達1萬度，樣品區也在6000℃以上)，可以避免一般分析方法的化學干擾、基體干擾，與其它光譜分析方法相比，干擾水平比較低。
 

　　等離子體焰炬比一般化學火焰具有更高的溫度，能使一般化學火焰難以激發的元素原子化、激發，所以有利于難激發元素的測定。
 

　　并且在Ar氣氛中不易生成難熔的金屬氧化物，從而使基體效應和共存元素的影響變得不明顯。很多可直接測定，使分析操作變得簡單，實用。
 

　?、?ICP-AES法具有溶液進樣分析方法的穩定性和測量精度，其分析精度可與濕式化學法相比。且檢出限非常好，很多元素的檢出限低于1mg/L。
 

　　現代的ICP-AES儀器，其測定精度RSD可在1%以下，有的儀器短期精度在0.4%RSD。同時ICP溶液分析方法可以采用標準物質進行校正，具有可溯源性，已經被很多標準物質的定值所采用，被ISO列為標準分析方法。